机床传动误差测量方法研究综述餐椅汽车轴承防护眼镜喇叭电子尺OrE

磁栅尺可分为线状（有效测量长度3m）和带状（有效测量长度可达30m）两种型式，其优点是制造成本较低，安装使用方便，线胀系数与机床相同；缺点是测量精度低于光栅尺，由于磁信号强度随使用时间而不断减弱，因此需要重新录磁，给使用带来不便。

（4）感应同步器

感应同步器的优点是制造成本低，安装使用方便，对工作环境条件要求不高；缺点是信号处理方式较复杂，测量精度受到测量方法的限制（传统测量方法的测量精度约为2～5μm）。

目前常用的几类机床传动误差测量传感器的部分应用情况见表1。

表1 几类常用传感器的部分应用情况

传感器类型－应用单位武夷山－测量分辨率：线位移(μm)－测量分辨率：角位移(角秒)

光栅传感器－东京大学，汉江机床厂－2，2－1

激光传感器－单频激光：北京机床所，东京大学－0.632－/

激光传感器－双频激光：成都工具研究所，上海机床厂－0.158－/

磁栅传感器－东京大学，重庆大学，华中理工大学，汉江机床厂，美国威斯康星大学－2－1

感应同步器－山东工业大学，汉川机床厂－1，2－0.72

根过滤筒据信号输出方式的不同，可将传感器分为模拟式和数字式两大类。数字式传感器又可分为增量式、绝对式和信号调制式等几种。

在计算机测试系统中，模拟式传感器的输出信号需利用模数转换器(A/D)进早强剂行数字化处理，而在高分辨率情况下A/D转换的成本较高，此外解决微小模拟信号（如微伏级）的抗干扰问题也相当困难。

在数字式传感器中，绝对式编码器可输出并行数字信号，无需A/D转换，易与计算机接口。但随着测量精体积大度的提高，绝对式编码器的成本也越来越高，甚至高于高精度A/D转换的成本，因此在许多实际应用场合难以被接受。增量式传感器和信号调制式传感器的制造成本较低，抗干扰能力较强，可在不改变编码器刻线密度的情况下采用细分技术大幅度提高分辨率，因此在传动链精度测量中这两类传感器使用最多。常见的增量式传感器包括光栅增量编码器、磁栅传感器、容栅编码器等；信号调制式传感器主要有感应同步器、激光干涉仪、地震仪、旋转变压器等。

3．机床传动误差的动态测量方法

传动误差的基本测量原理：设θ1、θ2分别为输入、输出轴的位移（角位移或线位移），输入、输出之